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ボルストン真空ポンプ用排気フィルター |
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排気フィルタは真空ポンプの排気からオイルミストと煙を除去 |
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オイルのバックストリーム(逆拡散)防止 |
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排気ダクト内のオイル溜まりを防止 |
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真空ポンプの保護とメンテナンスコストを低減 |
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装着とメンテナンスはとても簡単 |
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| ボルストン真空ポンプ用排気フィルターは |
0.1μm粒子のオイルミストや煙を99.9%の効率で除去します。
ボルストングレード30真空ポンプ用インレットフィルタは0.1μmのあらゆる固体粒子及び液滴を90%の効率で除去します。
グレード102インレットフィルタはチャンバーヘの油のバックストリーム(逆拡散)を防止し、サブミクロン粒子の流入による真空ポンプヘのダメージを防ぎます。
すべてのボルストンフィルタは腐食性、非腐食性のいずれのガスにもご使用でき、科学薬品および溶剤にたいしても優れた耐性を持っています。ボルストン真空ポンプ用フィルタは高価なメンテナンス作業やシャットダウン時間を防止できるので生産性の向上につながります。 |
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お問い合わせは
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